日前,工信部公示了2025年度智能制造系統解決方案“揭榜掛帥”項目入圍單位名單,彌費科技(上海)股份有限公司“半導體晶圓生產自動物料搬運系統”(AMHS)在眾多申報項目中脫穎而出,成功入選。
AMHS作為現代化智能工廠的標志之一,被廣泛應用于晶圓制造廠、封裝測試廠、顯示面板廠等領域。然而,不同領域間AMHS技術特征差異明顯,其中晶圓制造尤其是12寸晶圓制造,以高搬運量、標準方案、多天車、長軌道、復雜調度為特征,綜合性能要求顯著高于其他領域AMHS。其性能高低已成為影響先進制程晶圓制造廠產線稼動率和良率的重要因素。
不同領域間AMHS技術特征差異
長期以來,半導體晶圓生產AMHS被海外國際巨頭壟斷,成為制約國內半導體產線自主化的“卡脖子”環節之一。
此次工信部組織開展的智能制造系統解決方案“揭榜掛帥”工作,旨在發掘培育一批掌握核心技術、深耕細分行業、具有工業基因的專業化供應商,強化智能制造裝備、工業軟件和系統“串珠成鏈”集成創新,增強人工智能技術與場景深度融合,深化國家、行業智能制造標準研制應用,推動形成先進適用、自主可控、可復制推廣的智能制造系統解決方案產品和服務并應用驗證。
作為半導體晶圓生產AMHS國產領軍供應商,彌費科技以第五代智能天車系統“天帆”為核心的全自研半導體晶圓AMHS已在國內多家頭部晶圓廠實現規模化部署,以穩定的表現贏得了客戶信賴并收獲復購訂單。
彌費科技第五代智能天車系統“天帆”
此次榮登“揭榜掛帥”項目榜單,是來自國家級主管單位、權威專家對彌費科技技術“先進適用”、產品“自主可控”、方案“可復制推廣”的認可與肯定。彌費科技也將繼續推動產品創新與技術迭代,全力實現從“趕超”到“領跑”,為半導體產業發展貢獻更多力量。 關于彌費科技 彌費科技是目前國內最早打破AMHS技術壟斷,且能提供完整AMHS解決方案的企業,累計持有近300項知識產權,并已申請近60項國際專利。產品進入全球范圍50多家晶圓廠,累計訂單突破20000臺,完成4個整廠OHT系統部署驗收并持續收到OHT天車訂單,牽頭發布國內首個OHT標準,國產市場占有率超過70%。憑借卓越的技術實力和不斷創新的能力,彌費科技已經成為一家能夠向全球半導體領域提供AMHS整體解決方案的領先企業。