近日,彌費科技再次獲得國內前沿芯片制造技術研發場景的12吋AMHS整廠級項目訂單,該項目專注于前沿芯片工藝的量產驗證與新技術研發,對AMHS的柔性、穩定性與系統協同能力提出了極高要求,此次合作展現了彌費在高端研發型產線中的系統支撐能力。
本項目AMHS系統覆蓋整廠物料搬運體系,包括FOUP OHT與Reticle OHT,配套FOUP STK、Reticle STK、OHB Purge、LP Purge及MCS等核心子系統,實現了關鍵物料的完整自動化搬運與管理。AMHS系統需在實驗性工藝條件下,兼顧高潔凈、高精度與快速工藝迭代帶來的多重挑戰。
彌費科技再獲AMHS整廠級訂單
與傳統成熟制程量產線不同,前沿芯片技術的實驗與驗證階段具備工藝路線調整頻繁、設備配置變化快、生產節奏波動大等特點。這對AMHS系統提出了更高層級的要求——不僅要“穩定運行”,更要具備足夠的彈性與可擴展性,以支撐技術探索過程中的持續演進。
隨著國內前沿芯片技術不斷向更高難度方向推進,AMHS的角色正在發生變化——從“跟隨工藝”,走向“支撐創新”。彌費科技通過持續在高復雜度、高不確定性場景中的項目實踐,不斷拓展AMHS在研發型與實驗型產線中的應用邊界。
未來,彌費科技將繼續以系統級視角打磨AMHS核心能力,致力于為前沿芯片制造與新技術研發提供更具前瞻性的自動化基礎設施,助力國內高端芯片技術實現從實驗驗證到規模化應用的加速跨越。
關于彌費科技
彌費科技是目前國內最早打破AMHS技術壟斷,且能提供完整AMHS解決方案的企業,累計持有近300項知識產權,并已申請近60項國際專利。產品進入全球范圍50多家晶圓廠,累計訂單突破20000臺,完成4個整廠OHT系統部署驗收并持續收到OHT天車訂單,牽頭發布國內首個OHT標準,國產市場占有率超過70%。憑借卓越的技術實力和不斷創新的能力,彌費科技已經成為一家能夠向全球半導體領域提供AMHS整體解決方案的領先企業。