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產(chǎn)品中心

AMHS傳輸設(shè)備

天車潔凈室傳送線協(xié)作式機器人

AMHS存儲凈化設(shè)備

晶圓盒存儲設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備塔式存儲設(shè)備近機臺緩存設(shè)備機臺凈化設(shè)備空中緩存凈化設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備機臺前端凈化設(shè)備人工上下料凈化機臺電子貨架

AMHS 軟件系統(tǒng)

MCS物料控制系統(tǒng) AMS監(jiān)控仿真系統(tǒng)

AMHS傳感控制設(shè)備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

天車

通過智能算法調(diào)度軟件的控制，OHT天車代替潔凈室車間人員進行晶圓載具的搬運。提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量，實現(xiàn)智能制造，節(jié)約生產(chǎn)成本。

可選配置：FOUP / POD / Reticle OHT

功能亮點：

更高產(chǎn)：ADT<130s

更快速：直行5.5m/s，過岔路3.5m/s不減速（行業(yè)最快）

更平穩(wěn)：振動<0.35G

更輕薄：厚度895mm（行業(yè)最薄）

更易用：智能示教＜2min

更耐久：MCBF>50000次

更高效：取放貨7s

更可靠：熱備架構(gòu)零停機

更智能：AI算法提效30%，支持全局動態(tài)調(diào)度

更便捷：MTTR＜10min

軟件描述

MSTC天車控制系統(tǒng)

MeetFuture Smart Transport Controller

OHT路徑規(guī)劃及調(diào)度，用路徑算法找出多路線中的最佳路徑，并時實監(jiān)控交通避開事故點。對接MES上位機，將下發(fā)的傳輸和控制命令，轉(zhuǎn)換為對AMHS的控制并向HOST上報相關(guān)狀態(tài)信息。

應(yīng)用場景 : OHT路徑規(guī)劃及動態(tài)調(diào)度控制

配套產(chǎn)品

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AMHS傳感控制設(shè)備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

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OHT軌道系統(tǒng)

產(chǎn)品功能

OHT軌道吊掛于無塵室天花板，軌道系統(tǒng)包含直軌、彎軌、非接觸供電、通信網(wǎng)絡(luò)等。軌道連通各工作工位，滿足安裝強度、精度、潔凈度、振動、通行效率等要求，確保OHT天車在軌道上面高效穩(wěn)定運行，實現(xiàn)天車點到點搬送能力。

可選配置：單層軌道/雙層軌道，非冗余供電/冗余供電，N型、Y型、R型等彎軌

功能亮點：

雙層軌道系統(tǒng)，實現(xiàn)更復(fù)雜的搬送需求

軌道交通控制系統(tǒng)（TCU）,控制OHT天車在軌道上有序通行，保證搬送效率

CPS 非接觸供電系統(tǒng)，供電冗余技術(shù)

塔式升降機

產(chǎn)品功能

塔式升降機通過升降機內(nèi)部的鏈條實現(xiàn)天車投入軌道或降下維修，采用封閉設(shè)計，完成天車軌道與地面工裝小車的連接。

型號：MLT-T30、 MLT-T30-A

功能亮點：

封閉設(shè)計保證安全

具備安全檢查傳感器

地面接口設(shè)置防護門

載具吊裝校準(zhǔn)平臺