OHBP Software
OHBP Software
OHBP控制系統對整條Bay的Port進行潔凈吹氣，分為始終吹氣和感應吹氣兩種類型，其可配置RFID傳感器、溫濕度傳感器，可記錄Foup放置的次數，以及整個Purge過程的溫濕度變化，當RFID讀取異常、溫濕度未達標，具有實時報警功能；
Web UI界面可手動調節比例閥，實時控制氣流量、可調節溫濕度 流量 壓力監控范圍、亦可手動控制電磁閥的開關等操作。
功能亮點：
? 多盤位實時監控，穩定可靠。
? 搭配MF FabScope 系統，快速定位異常盤位狀態。
? 支持Recipe 管理。
Web UI界面可手動調節比例閥，實時控制氣流量、可調節溫濕度 流量 壓力監控范圍、亦可手動控制電磁閥的開關等操作。
功能亮點：
? 多盤位實時監控，穩定可靠。
? 搭配MF FabScope 系統，快速定位異常盤位狀態。
? 支持Recipe 管理。
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